三氟化氮是什么,三氟化氮用作清洁剂的原理

三氟化氮和三氯化氮键角比较 2023-08-12 19:27 347 墨鱼

三氟化氮和三氯化氮键角比较

三氟化氮是什么,三氟化氮用作清洁剂的原理

＋▂＋三氟化氮是一种无色、无味、化学性质稳定的气体，在室温下不易燃，但能助燃，是一种强氧化剂。当温度超过350℃时，三氟化氮气体分解缓慢，分解过程中产生强氧化性氟，因此在高温下是一种强氧化剂。三氟化氮有毒，其主要危害为呼吸道吸入中毒。性能和稳定性NF3是微电子行业中一种优秀的等离子蚀刻气体。对于硅和氮化硅的蚀刻，NF3和CF4+O2的混合气体具有更高的效率。

三氟化氮（NF3）是含氟特种气体，是市场容量最大的电子特种气体产品。它在室温下呈化学惰性，在高温下比氧和氟更活泼、更稳定，且易于处理。三氟化氮主要用于等离子蚀刻【三氟化氮】Chemsource.com提供三氟化氮CAS号7783-54-2、三氟化氮MSDS及其描述、性质、英文名称、生产厂家、功能/应用、分子量、密度、沸点、熔点、结构式等。 CAS号查询三

三氟化氮（nitrogentrifluide）化学式NF₃，无色、无味、常温下稳定的气体，是一种强氧化剂。三氟化氮在微电子工业中用作优良的等离子蚀刻气体，并且在离子蚀刻过程中分解成活性气体。 7783-54-2，常用分子式为NF3，分子量为71.00，常用熔点为p-208.5°C，常用沸点为bp-129°C

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